EUV

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随着EUV技术在二维缩放方面的进步推动了传统材料工程技术的极限,需要突破接触电阻的增加,并在芯片性能、功耗和面积/成本(PPAC)方面实现持续改进。
应用说明:EUV时代的光罩技术

应用说明:EUV时代的光罩技术

本博客的普通读者可能还记得,光罩是用于制造芯片的蓝图。光刻工艺将蚀刻在掩模上的图案打印到硅片上,以定义晶体管,存储单元和布线——构成功能性器件的所有纳米级结构。由于业界采用了一种称为极紫外光刻(简称EUV)的新技术,光刻技术预计将在未来几年经历一次重大转变。这一变化需要新一代具有新材料和工作原理的光掩模。