学报

光刻技术创新25年

光刻技术创新25年

亚博最新版本作为本月早些时候SPIE Advanced Lithography大会的一部分,应用材料公司(Applied Materials)最近主办了一场小组讨论,邀请了几位杰出的半导体行业发言人,我有幸担任此次会议的主持人。本次小组讨论回顾了计量、检验和过程控制领域25年来的技术发展,由纳米计量公司技术总监、SPIE会议主席Chris Raymond共同主持。