半导体 应用提供系统的大规模采样揭示了趋势 经过Renana Ashkenazi. 2016年8月16日 动画显示如何收集大量的测量并在晶圆上映射它们,揭示有关过程变化的有价值的信息,以加快识别根本原因。 阅读更多
半导体 在最具挑战性地区发现诸如挑战性位置的缺陷 经过Renana Ashkenazi. 2016年8月02日 动画显示FinFET阵列的复杂性和在设备制造期间可以发生的缺陷的示例,但是难以检测密集地填充,高纵横比特征。 阅读更多